Исследование коррозионно-стойкого Mo–Cu покрытия для размерного травления кварцевого стекла

Ратманов, Т. Д.

dc.contributor.advisor	Шабурова, Н. А.	ru
dc.contributor.author	Ратманов, Т. Д.	ru
dc.date.accessioned	2019-04-05T05:31:01Z
dc.date.available	2019-04-05T05:31:01Z
dc.date.issued	2018
dc.identifier.uri	http://dspace.susu.ru/handle/0001.74/25134
dc.publisher	Южно-Уральский государственный университет	ru
dc.subject	металлургия и металловедение	ru
dc.title	Исследование коррозионно-стойкого Mo–Cu покрытия для размерного травления кварцевого стекла	ru
dc.type	Thesis	en
dc.thesis.level	Магистр	ru
dc.thesis.speciality	22.04.02 - Металлургия	ru
dc.publisher.department	Политехнический институт	ru
dc.publisher.subdepartment	Кафедра материаловедение и физико-химя материалов	ru