Приведены результаты разработки алгоритма управления статическим источником электронагрева с ограниченной выходной мощностью. Проведенный анализ позволил оптимизировать нагрев нескольких зон в установке индукционного нагрева для эпитаксиальной технологии.
Descripción:
Зинин Юрий Михайлович, доцент кафедры ЭЛА и НТ УГАТУ. В 1969 г. окончил УАИ, с 1978 г. - канд. техн. наук. Научные интересы связаны с исследованиями в области систем управления и проектирования высокочастотных установок индукционного нагрева от полупроводниковых преобразователей частоты.
