Abstract:
Методом сканирующего электроннолучевого распыления получена серия тонкопленочных образцов углерода различной толщины. Измерена температурная зависимость удельного поверхностного сопротивления. Получен эффект перехода от полуметаллического характера проводимости к полупроводниковому с уменьшением толщины пленок. Эффект объясняется на основе теории квантового размерного эффекта электросопротивления
